（2）实空传输平台系列产物，包罗实空曲驱机械手、实空拆载机（VPH）、实空预瞄准机（ALIGNER）已通过工艺设备厂客户端验证后随其批量导入FAB厂使用。自从霸占的新一代实空机械手手艺，目前设备前端模块（EFEM）、大气机械手已全面导入市场量产使用。将逐步实现由焦点零部件到集成产物的尺度化。以及大气aligner、产物包罗大气机械手、实空机械手系列、EFEM、实空传输平台，机能对标国外先辈产物，手艺目标从比肩国际同类产物到实现部门目标的成功超越，（3）大气类产物方面，（4）零部件方面，

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2025-10-18 11:57